【携手同行,共建半导体**制程体系】
微川仪器深耕实验室检测与精密仪器领域多年,汇聚全球**品牌资源,为半导体行业提供材料研发 → 工艺验证 → 生产质控 → 可靠性测试 → 成品检测全套仪器解决方案。
依托Brookfield(博勒飞)、METTLER TOLEDO(梅特勒托利多)、IKA(艾卡)、凯视迈等四大知名品牌,我们打造覆盖半导体材料质控、晶圆微观表征、样品前处理、实验室理化分析、封装辅材检测的全链路解决方案,***护航半导体产线与研发实验室。
半导体材料、电子湿化学品、光刻胶、CMP 浆料、封装胶等原料的性能,是决定芯片工艺成败的**道关卡,整套方案覆盖水分、粘度、理化参数、杂质含量等多项关键指标检测。
1. 微量水分与杂质分析(METTLER TOLEDO)
半导体电子级化学品对水分含量要求严苛,微量水分极易引发光 刻图案失真、封装分层、器件腐蚀等问题:
卡尔费休水分测定仪:采用库仑法检测,测量精度低至 1ppm,严格契合 SEMI 行业标准,精准把控光刻胶、电子特气、封装材料、高纯湿化学品中的痕量水分,从源头规避工艺缺陷;
电位滴定仪 & T7/T9 自动滴定系统:适配混酸、晶圆清洗液、电镀液等复杂体系,精准测定溶液组分、酸值、金属杂质含量,支持离线检测与产线在线集成,保障湿法制程化学品稳定性。
2. 粘度与流变特性测试(Brookfield )
光刻胶、CMP 抛光浆料、导电银浆、封装胶水、助焊剂等流体材料的粘度与流变性能,直接影响涂布、抛光、点胶、焊接等核心工艺的一致性。
实验室研发:DVNext锥板流变仪和CAP锥板粘度计,能用极少量(0.5-2.0mL)昂贵的光刻胶,**模拟旋转涂布过程,帮助优化配方。
产线QC质控:优选DV2T、DVNX系列旋转粘度计,操作简易、检测高效,快速完成光刻胶来料质检筛查。
针对CMP化学机械抛光液工况:DVNext流变仪搭配专用桨式转子,规避抛光液固体颗粒堵塞问题,保障非均质流体检测数据长效稳定;
3. 湿化学品与超纯水监测(METTLER TOLEDO)
超纯水(UPW)是晶圆清洗、配料的核心介质,梅特勒托利多提供一站式厂务端监测方案:
pH / 电导率 / 溶解氧 / TOC 分析仪:实时监测超纯水、清洗液、配液溶液的酸碱度、离子浓度、总有机碳,防止晶圆表面颗粒附着与腐蚀,贯穿晶圆清洗、刻蚀、后段清洗全流程。
晶圆是芯片的核心基底,光刻、蚀刻、薄膜沉积、切割封装等工序产生的纳米级缺陷、膜厚偏差、表面形貌异常,都需要高分辨率设备完成无损检测,是提升良率的核心环节。
4. 晶圆微观表征与缺陷检测方案(Kathmatic)
凯视迈微观形貌、尺寸与缺陷全场景表征方案,依托光谱共焦、超景深成像、3D 扫描三大核心技术,采用非接触式检测方式,可避免划伤精密晶圆与芯片,完整覆盖半导体前道制造、后道封装测试全流程检测需求:
KS 系列超景深光学显微镜 + KC 系列光谱共聚焦显微镜:具备高分辨率成像能力,可精准识别晶圆表面纳米级划痕、凹凸缺陷与微观形貌起伏;
3D 形貌精密测量系统:可对薄膜厚度、晶圆平面度、BGA 焊球共面度、芯片引脚间距、镀层几何尺寸开展定量测量,设备 Z 轴分辨率可达 2nm,薄膜测量可覆盖微米级区间,适配先进制程晶圆与各类封装器件检测;
配套智能图像分析系统:支持缺陷自动统计、原始数据存档、检测报告一键导出,同时适配实验室研发分析与产线批量质检场景,有效缩短检测周期,赋能制程迭代与工艺优化。
半导体实验室样品品类繁杂,从光刻胶、浆料制备,到试剂配制、样品均质、有机物料浓缩,IKA 与梅特勒托利多构建 “前处理 + 理化检测 + 样品温控” 一体化体系,实现全流程闭环。
5. 样品前处理设备(IKA 艾卡)
光刻胶制备:ULTRA-TURRAX 分散机、RET 磁力搅拌器,结合分散、搅拌、温控,精准把控物料粘度与粒径;
导电浆料(光伏 / 芯片封装):均质反应釜、 分散机,高速均质 + 真空脱泡,提升浆料导电性与稳定性;
CMP 研磨液:MultiDrive 研磨机、RW 顶置搅拌器,超细研磨 + 分散处理,颗粒分布均匀,减少晶圆划伤。
芯片清洗 / 蚀刻:RET® control-visc 磁力搅拌器,恒温搅拌 + 精密控温,提升制程均匀性。
纳米材料研发:EasySyn 合成反应釜、ULTRA-TURRAX 分散机,依托反应釜、温控、分散设备,制备量子点、纳米线等材料。
6. 精密称量与理化检测(METTLER TOLEDO)
作为实验室基础核心设备,实现试剂、样品的精准称量与溶液标定,筑牢数据根基:
高精度分析天平:满足晶圆切片、微量试剂、封装辅料的称量需求,精度级别适配半导体痕量实验与配料场景,广泛应用于晶圆切割、芯片键合等工序的物料称量。
pH / 电导率仪:精准标定各类工艺溶液、清洗液、电镀液参数,控制 CMP 浆料 pH 值以避免颗粒结块保障湿法工艺稳定运行
数字化数据管理:
配套 LabX™实验室数据管理软件,自动记录检测数据、实验参数,符合 ISO 17025 规范,实现数据可追溯、防篡改,适配半导体企业严苛的质量管理体系。
从前端材料质控、晶圆微观检测,到中端样品前处理、制程化学品监测,再到后端封装辅料检测、实验室数据管理,四***设备深度串联半导体全产业链:Brookfield 把控流体材料粘度流变,稳定涂布、抛光、封装工艺;梅特勒托利多(Mettler Toledo)以瑞士精密技术,实现水分、称量、理化、纯水的全维度精准分析;IKA(艾卡)打造标准化样品前处理体系,保障物料制备一致性;凯视迈以国产**显微设备,完成晶圆与芯片无损微观检测。
整套一体化解决方案,兼顾研发实验室、中试产线、量产工厂三大场景,助力半导体企业实现工艺提效、良率提升、国产替代,***赋能先进半导体制造。
关于博勒飞:
阿美特克-博勒飞(AMETEK Brookfield)是阿美特克旗下品牌,创立于1934年,它是粘度的代名词,作为粘度测量仪器的先驱,建立了公认的全球粘度测量标准。自创立之日起,我们一直在创新解决方案的前沿提供始终满足法规和客户应用需求的科学实验室仪器,包括粘度计、流变仪、质构分析仪、Computrac®水分分析仪、Jerome®有毒气体分析仪以及粉体流动测试仪。我们对品质、准确性和客户支持的承诺使我们成为公认的粘度测量仪器全球***。当您选择阿美特克-博勒飞,您完全可以对我们仪器的重复性、可靠性和准确性充满信心,进而为您获得**的材料表征。
关于METTLER TOLEDO:
梅特勒托利多(METTLER TOLEDO)是行业**的精密仪器及衡器制造商与服务提供商,产品应用于实验室、制造商和零售服务业。梅特勒托利多提供贯穿客户价值链的称重、分析和产品检测解决方案,帮助客户简化流程、提高生产率、确保产品符合法律法规要求以及优化成本。梅特勒托利多在中国的上海、常州和成都都设有运营中心、制造基地及研发中心,并拥有遍布**的销售及服务网络。
关于IKA:
实验室前处理与分析技术、工业混合分散技术、生物工艺解决方案、电动汽车电池解决方案。
IKA 集团是实验室前处理、分析技术、 工业混合分散技术的市场***。电化学合成仪、磁力搅拌器、顶置式搅拌器、分散均质机、混匀器、恒温摇床、恒温培养箱/烘箱、移液器、研磨机、旋转蒸发仪、加热板、恒温循环器、量热仪、生物反应器、化学合成釜、实验室反应釜等相关产品构成了IKA 实验室前处理与分析技术的产品线;而工业技术主要包括用于规模生产的混合设备、分散乳化设备、捏合设备、以及从中试到扩大生产的整套解决方案。IKA 还与全球知名大学和科学家进行着密切的合作, 支持其在科研道路上不断探索。我们致力于为客户提供更好的技术, 帮助客户获得成功。
IKA 成立于1910年,集团总部位于德国南部的Staufen,在美国、中国、印度、马来西亚、日本、巴西、韩国、英国、波兰等国家都设有分公司。 艾卡(广州)仪器设备有限公司是IKA 集团于2000年设立的全资子公司,主要负责为中国和蒙古国提供产品、技术和服务支持。
关于凯视迈:
南京凯视迈科技有限公司(凯视迈,Kathmatic),坐落于美丽的南京九龙湖畔,是南京木木西里科技有限公司全资子公司,同时也是国家高新技术企业。
凯视迈品牌一直“致力于高精尖光学测量技术”,已陆续推出“激光干涉测量、超高精度AI-3D显微测量、超高清AI-3D显微观测”三条产品线及十余款系列产品。产品先后获得中国光学工程学会“金燧奖”、清华大学**工博论坛“创新成果奖”。并广泛应用于半导体、锂电、光伏、智能制造、3C、**制造、精密加工与制造等领域。
凯视迈目前拥有研发人员百余人,其中硕博占比达60%以上。公司建有 “魔玛1号”智能制造工厂一座,两个研发中心,在**12个中心城市设有分公司,可以快速、高质量服务**范围内客户。经过近十年发展,凯视迈已成为集“研发、制造、销售”为一体的国产**光学精密仪器新力量。
关于微川仪器:
上海微川精密仪器有限公司实验室事业部,专注于代理销售国内外知名品牌的仪器,致力于为客户提供**的实验室产品解决方案。我们所销售的国内外品牌众多,包括美国 BROOKFIELD、瑞士 METTLER TOLEDO、德国IKA、美国 CHEMINSTRUMENTS、美国 COSA-XENTAUR、美国 AMI、美国 EDGE TECH、德国 MEMMERT、上海微川、上海仪电物光、上海一恒、上海骇思、厦门元能、深圳中毅等。产品涵盖粘度计、流变仪、质构仪、粉体流动测试仪、水分仪、滴定仪、熔点仪、密度仪、折光仪、热分析仪、色谱光谱、天平、水浴、搅拌器、烘箱、水质检测仪、胶黏剂专用检测仪器等。
公司业务广泛,主要涉及石油化工、制药、钢铁、环保、日化、食品、涂料、胶黏剂、电子半导体、汽车锂电等工业领域,以及高校、科研院所等研发领域。
沪公网安备 31011402005159号