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流量装置

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产品名称: 流量装置
产品型号: APTECH
产品展商: 美国APTECH
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简单介绍

AP Tech 是Advanced Pressure Technology 的缩写, 成立于1987年, 是专门为半导体晶片厂 提供各种气体操作组件的, 通过使用点和VMB及气体流程控制盘为气瓶柜、大宗气体系统 提供调压阀、隔膜阀、单向阀和各种流量装置.


流量装置  的详细介绍
流量装置
 
真空发生器、流量开关

Flow Devices


LOCK OUT/TAG OUT (LOTO) VALVE SAFETY DEVICES

 

Model Model Model Model
AP PL 210 AP PL 225 AP PL 226 AP PL 227


CHECK VALVE

Series Model Material Pressure
Max
PSIG/BAR		 Cv Cracking Pressure
PSIG/BAR		 Connection
Size
Inch		 Connection
Type
AP 64 S VAR 3500/241 0.4 max 3/0.23 1/4 W


VACUUM GENERATORS

Series Model Material Vacuum
Efficiency
In Hg/Torr		 Modules* Connection
Size
Inch		 Connection
Type
AP 7 S VAR 26/100   1/4, 3/8 W
AP 70 S VAR 26/100   1/4, 3/8 W
AP 71 S VAR 26/100 Standard 1/4, 3/8 W
AP 72 S VAR 26/100 Standard 1/4, 3/8 W

* Monoblock vacuum generator, N2 supply valve and check valve


FLOW SWITCHES

Series Model Material Pressure Max
PSIG/BAR		 Trip Points
SLPM @ 100 psi N2		 Connection
Size
Inch		 Connection
Type
AP 74 S VAR 3500/267 2,5,10,25,50,100 1/4 W
AP 74B S VAR 3500/241
2400/163		 225,350,500,950
1100,1650,2600		 1/2
3/4		 W
W
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